單晶成長設備

有優越的耐磁場性

超過300mm的大型結晶體生產提煉時,因為需要強大的MCZ式磁場和尖端領域的系統電源,所採用的磁流體密封的條件是以絕對不能受磁場的影響為前提。理學磁流體密封裝置的獨特構造耐磁場性強,在SSI研究所提煉出了400mm的晶圓柱體,技術實力得到充分證實。

適合於單晶製造設備的磁流體密封

單晶提引注入設備使用時、建議選擇用戶的軸與密封一體化的普通規格NFT-B系列或普通規格F1T-B系列。

另外、對爐內材料容器、提拉裝置用高精度旋轉磁流體密封也有豐富的生產經驗。

選擇時請注意使用的溫度範圍和氣體。
標準品不能對應的情況下、請與我們聯繫。

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