離子佈植設備

高速傳動時把芯擺動、共振控制到了最小限度。

  • 通過採用理學獨自的技術開發,把軸芯擺動誤差控制到最小限度,達到了和諧穩定的高速旋轉。
  • 高溫·高真空·高負荷的規格產品,芯振動偏差也控制到很小,達到使用壽命長。
  • 可以製造生產適合所有類型的離子注入裝置用真空磁流體密封裝置。

最適合離子注入設備的磁流體密封

離子注入設備大多數是使用在高速旋轉的條件下、因此建議使用真空側沒有軸承的懸臂式磁流體密封。

另外、為了控制高速旋轉式的發熱、建議使用附帶水冷規格的產品,隨時可以聯繫我們。

選擇時請注意使用的溫度範圍和氣體。
對於形狀和負荷條件的要求等事項請聯繫我們。

Powered by WordPress