CVD 設備

提供耐高溫・活性氣體的磁性流體密封裝置

理學從很早以前就為眾多的一流CVD設備商提供磁流體軸封。
經過長時間的開發研究和試驗,研製出在高溫條件下也不產生廢氣的新型磁性流體。這種新型磁性流體和改良後的真空磁流體密封裝置相結合,成功的開發了以往CVD裝置因使用環境而不可想像的,超長久耐用真空磁流體密封裝置,延長了其使用壽命

同時、精密的加工和專業的組裝技術、生產出穩定協調的旋轉磁流體密封為制膜厚度的均一化做出了貢獻。

適合CVD設備的磁流體密封

CCVD設備大多數使用的是腐蝕性氣體,因此建議使用真空側不裝軸承的懸臂式磁流體密封。
另外、根據生產環節的不同需要,使用的原材料也有所區別,屆時請聯繫我們。

選擇時請注意使用的溫度範圍和氣體。
對於形狀和負荷條件的要求等事項請聯繫我們。

CVD設備使用的具有代表性的磁流體密封

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